無限變焦形貌分析儀介紹

InfiniteFocus 是微納米級質量保證的光學3D測量儀，它的操作原理是小景深的光學系統與垂直掃描相結合，利用焦距變化提供形貌和色彩信息。新穎*的運算法則把它重建成包含形貌信息的獨立的3D數據集，可追蹤的校準標準可以驗證測量結果。